ELECTRON BEAM APPARATUS

An electron beam (4) applied to a specimen (10) is two-dimensionally scanned by a scanning coil (9), and secondary electrons produced from the specimen (10) are detected by a secondary electron detector (13). A deflecting coil (15) for image shifting electrically deflects a primary electron beam to shift the visual field in a given direction by a given distance by image shifting. This image shifting causes energy dispersion of the primary electron beam (4) applied to the specimen, thereby degrading the resolution. However, an ExB field generator (30) for dispersion control provides energy dispersion whose direction is opposite to that caused by the primary electron beam and whose magnitude is equal to that caused by the same, so that the energy dispersion caused by the primary electron beam is automatically corrected by image shifting. L'invention concerne un faisceau électronique (4) appliqué à un échantillon (10) balayé de manière bidimensionnelle par une bobine de balayage (9), et des électrons secondaires produits par l'échantillon (10) détectés par un détecteur d'électrons secondaires (13). Une bobine de déflexion (15), destinée à déplacer électriquement l'image, dévie un faisceau électronique primaire de façon à déplacer le champ visuel dans une direction donnée à une distance donnée par déplacement d'images. Ce déplacement d'images cause une dispersion d'énergie du faisceau électronique (4) primaire appliqué à l'échantillon, ce qui dégrade la résolution. Toutefois, un générateur de champ ExB (30) de commande de dispersion produit de la dispersion d'énergie dont la direction est à l'opposé de celle causée par le faisceau électronique primaire et dont l'amplitude est égale à celle provoquée par ledit faisceau, la dispersion d'énergie causée par ce faisceau étant ainsi automatiquement corrigée par le déplacement d'images.