METHOD OF FABRICATING A FIELD EMISSION DEVICE WITH A LATERAL THIN-FILM EDGE EMITTER

A novel edge emitter device including an anode and a cathode situated at a level above and laterally displaced from the anode, providing an opening for a window above the anode. The Cathode has an emitting edge which is operable to emit field electrons when a positive voltage is applied to the anode with respect to the cathode. On the top surface of the anode is disposed either a phosphor layer operable to luminesce when struck with the electrons emitted from the emitting edge or a layer having a higher secondary emission ratio than anode. The device is capable of being configured as a diode, triode, tetrode, etc. having one or more control electrodes to control the current from emitting edge to anode. A fabrication process is capable of automatic alignment of cathode above insulating layer and around the window above anode and for the protrusion of cathode slightly beyond insulating layer into the window opening. L'invention concerne un dispositif à émission latérale comportant une anode et une cathode située à un niveau supérieur et décalée latéralement par rapport à l'anode, offrant une ouverture pour une fenêtre placée au-dessus de l'anode. La cathode présente un bord émetteur en mesure de fonctionner pour émettre des électrons par effet de champ lorsqu'on applique une tension positive à l'anode par rapport à la cathode. Sur la surface supérieure de l'anode est placée soit une couche de phosphore devenant luminescente lorsqu'elle est frappée par les électrons émis par le bord émetteur, soit une couche ayant un rapport d'émission secondaire supérieur à celui de l'anode. Le dispositif de l'invention peut être configuré comme une diode, une triode, une tétrode, etc., ayant au moins une électrode pour réguler le courant depuis le bord émetteur vers l'anode. L'invention concerne également un procédé de fabrication permettant l'alignement automatique de la cathode au-dessus de la couche isolante et autour de la fenêtre au-dessus de l'anode, ainsi que le dépassement de la cathode, légèrement au-delà de la couche isolante, à l'intérieur de l'ouverture.