PROCESS AND APPARATUS FOR TREATMENT OF HAZARDOUS GASES IN EFFLUENT

An apparatus and method for reducing hazardous gases exhausted from a process chamber (25) includes an effluent plasma reactor (210) and optionally a downstream catalytic reactor (220). The reactor (210) may include a consumable liner that reacts with the energized effluent to remove the hazardous g...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KAUSHAL, TONY, S, SHAMOUILIAN, SHAMOUIL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSEGASES [GHG] CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE THEIR RELEVANT APPARATUS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An apparatus and method for reducing hazardous gases exhausted from a process chamber (25) includes an effluent plasma reactor (210) and optionally a downstream catalytic reactor (220). The reactor (210) may include a consumable liner that reacts with the energized effluent to remove the hazardous gases. The catalytic reactor (220) may also include catalytic surfaces (227) in a honeycomb, foam, or pellet structure (225) to catalyze reactions that further reduce hazardous gas content. L'invention concerne un appareil et un procédé de réduction des gaz dangereux s'échappant d'une chambre de traitement (25) renfermant un réacteur à effluent de plasma (210) et un réacteur catalytique en aval (220). Le réacteur (210) peut être équipé d'un revêtement consommable réagissant avec l'effluent alimenté pour éliminer les gaz dangereux. Le réacteur catalytique (220) peut aussi comprendre des surfaces catalytiques (227) dans une structure alvéolaire, sous forme de mousse ou de pastilles (225) de manière à catalyser les réactions qui réduiront par la suite la teneur en gaz dangereux.