METHOD AND APPARATUS FOR PERFORMING CALIBRATION-BASED ABSOLUTE SHAPE MEASUREMENT USING PHASE-SHIFTING PROJECTED FRINGE PROFILOMETRY

A method and apparatus for performing absolute shape measurement using phase-shifting projected fringe profilometry. Techniques are disclosed to permit calibration of the optical system's distortion characteristics in both phase and lateral directions. Such a calibration utilizes specialized examination surfaces, methods to examine those surfaces and algorithms to process the acquired data, all of which are provided by the present invention. A novel calibration tool incorporating improved examination surfaces is also disclosed. L'invention concerne un procédé et un appareil de mesure de forme absolue par profilométrie à franges projetées par décalage de phase. Des techniques sont décrites, qui permettent de calibrer les caractéristiques de distorsion du système optique tant dans le sens de la phase que dans le sens latéral. Une telle calibration utilise des surfaces d'examen spécialisées, des procédés pour examiner ces surfaces, et des algorithmes pour traiter les données acquises, toutes produites par la présente invention. L'invention concerne également un outil de calibration incorporant des surfaces d'examen améliorées.