PLASMA REACTOR WITH INTERNAL INDUCTIVE ANTENNA CAPABLE OF GENERATING HELICON WAVE

The present invention employs an internal inductive antenna capable of generating a helicon wave for generating a plasma. One embodiment of the present invention employs loop type antenna secured within a bell shaped portion of the chamber. Another embodiment employs a flat coil type antenna secured within the chamber. In the preferred embodiments, the internal antenna of the present invention is constructed to prevent sputtering of the antenna. The antenna may be formed of a non-sputtering conductive material, or may form a conductive material surrounded, completely or partially, by a non-sputtering jacket. In one embodiment, the non-sputtering jacket may be coupled to the chamber wall so that heat generated by the antenna is transferred between the jacket and the chamber wall by conduction. Preferably, the non-sputtering jacket is formed of a material that also is electrically insulative with the surface of the antenna exposed to plasma being segmented to inhibit eddy current in conductive deposits. The gaps separate the exposed surface of the antennas so that conductive deposits are inhibited from electrically joining the separated surfaces, while inhibiting plasma generation within the gaps. A portion or all of the chamber wall may be constructed of electrically and thermally conductive material. La présente invention porte sur une antenne inductive interne capable de générer une onde hélicon pour produire un plasma. Selon une réalisation, cette invention utilise une antenne de type boucle fixée dans une partie en forme de cloche de la chambre à plasma. Selon une autre réalisation, une antenne de type enroulement plat est fixée dans la chambre. Selon les réalisations préférées de cette invention, l'antenne interne est construite de façon à empêcher les grésillements. Elle peut être fabriquée dans un matériau conducteur ne générant pas de grésillements, ou dans un matériau conducteur totalement ou partiellement entouré d'une chemise anti-grésillements. Selon une réalisation, la chemise anti-grésillements peut être raccordée à la paroi de la chambre de sorte que la chaleur générée par l'antenne soit transférée entre la chemise et cette paroi par conduction. De préférence, la chemise anti-grésillements est formée dans un matériau qui isole électriquement la surface de l'antenne exposée au plasma en cours de segmentation de façon à inhiber les courants de Foucault dans des dépôts conducteurs. Les intervalles séparent la surface exposée des antennes de faço