IMPROVED MEGASONIC CLEANER

A transducer is coupled either directly in a linear relationship, or remotely in an angular relationship, to a focusing element. The transducer and focusing element preferably extend a length at least equal to the diameter of a substrate to be cleaned thereby. The transducer and focusing assembly impart focused megasonic energy to a fluid in contact therewith. Three embodiments of a cleaning system which advantageously employ the transducer/focuser assembly are disclosed. The transducer/focuser assemblies preferably focus megasonic energy in a line across the substrate's surface, the substrate is then scanned past the lines of energy such that the substrate's entire surface is cleaned. L'invention concerne un transducteur couplé soit directement en relation linéaire, soit à distance en relation angulaire, à un élément de focalisation. De préférence, la longueur desdits transducteur et élément de focalisation est au moins égale au diamètre d'un substrat à nettoyer. Le transducteur et l'ensemble de focalisation confèrent une énergie mégasonique au liquide avec lequel ils sont en contact. L'invention concerne trois modes de réalisation d'un système de nettoyage qui utilisent avantageusement l'ensemble transducteur/élément de focalisation. De préférence, les ensembles transducteur/élément de focalisation concentrent l'énergie mégasonique suivant une ligne transversale à la surface du substrat. Ce dernier est alors balayé lorsqu'il passe devant les lignes d'énergie de sorte que toute sa surface est nettoyée.