SENSOR ARRANGEMENT FOR DETECTING THE PHYSICAL PROPERTIES OF LIQUIDS

Es wird eine Sensoranordnung zur Ermittlung von physikalischen Eigenschaften einer Flüssigkeit vorgeschlagen, mit elektro-akustischen Wandlern (6) auf einem Substrat (5), die mit der Flüssigkeit benetzbar sind und zur Erzeugung und Detektion akustischer Oberflächenwellen mit vorgegebenen Wellenmoden geeignet sind. Als Substrat (5) wird ein Y-gedrehter Quarzschnitt verwendet und über dem Substrat (5) liegt eine Wellenleiterschicht (16), wobei das Mass der Y-Drehung des Quarzschnittes und das Material der Wellenleiterschicht (16) so gewählt sind, dass sich eine weitgehende Temperaturkompensation im Bereich der Temperatur der zu untersuchenden Flüssigkeit ergibt. The invention relates to a sensor arrangement for detecting the physical properties of liquids. Said sensor arrangement is provided with electroacoustic converters (6) on a substrate (5) which can be wetted with the liquid and which are suitable for producing and detecting surface acoustic waves having predetermined wave modes. As a substrate (5), a Y-cut quartz section is used. Above the substrate (5) a waveguide layer (16) is arranged. The extent of the Y-cut of the quartz and the material of the waveguide layer (16) are chosen in such a manner that a substantial temperature compensation in the range of the temperature of the liquid to be examined is achieved. L'invention concerne un dispositif détecteur permettant de déterminer les caractéristiques physiques d'un fluide. Ce dispositif détecteur comprend des convertisseurs électro-acoustiques (6) qui sont placés sur un substrat (5), qui peuvent être mouillés par le fluide et qui conviennent à la production et à la détection d'ondes acoustiques de surface aux modes d'ondes prédéterminés. On utilise comme substrat (5) un cristal de quartz en Y. Ce substrat (5) est recouvert d'une couche guide d'ondes (16). La dimension de la coupe en Y du cristal de quartz et le matériau de la couche guide d'ondes (16) sont sélectionnés de telle façon que l'on obtienne une importante compensation de température dans la plage de la température du fluide à analyser.