GAS CHEMICAL FILTER HAVING COMPRESSION MECHANISM; AND METHODS

A filter assembly includes a construction including a media pack within the construction. In certain arrangements, a compression system exerts force to the media pack both upstream of the media pack and downstream of the media pack. Preferably, the compression system includes a compression pad or a spring both upstream and downstream of the media pack. In preferred systems, the filter assembly is used to clean a high purity gas in order to remove gaseous contaminants therefrom. One example application is in cleaning a gas that is propelled against a lens in optical lithography. L'invention concerne un ensemble filtre qui comprend une structure renfermant un milieu filtrant. Dans certains modes de réalisation, un système de compression exerce une force sur ledit milieu à la fois en amont et en aval de celui-ci. De préférence, le système de compression comprend un coussinet de compression ou un ressort, aussi bien en amont qu'en aval du milieu filtrant. Dans les modes de réalisation préférés, l'ensemble filtre est utilisé pour purifier un gaz de grande pureté afin d'en éliminer les contaminants gazeux. Un exemple d'application est représenté par la purification du gaz projeté contre une lentille en photolithographie.