MEASUREMENT OF SMALL, PERIODIC UNDULATIONS IN SURFACES

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Erkennen kleiner, periodischer Welligkeiten in technischen Oberflächen nach der Streulichtmethode, bei dem die Oberfläche mit einem Lichtstrahl - Primärlicht - beleuchtet und das von der Oberfläche zurückgeworfene Sekundärlicht untersucht wird. Um auf diese Weise auch im rauhen Fabrikationsbetrieb rasch, freihändig und mit reproduzierbarer Aussagekraft Messungen durchführen zu können, wird erfindungsgemäss monochromatisches, kohärentes Primärlicht verwendet, welches - die Werkstückoberfläche streifend - annähernd quer zu den zu erwartenden periodischen Welligkeiten auf die Werkstückoberfläche gerichtet ist. Dadurch wird im Sekundärlichtbündel ein Beugungsbild der wellenförmigen Oberflächenstruktur erzeugt. Das Auftreten zweier Intensitätsmaxima deutet bereits das Vorhandensein einer periodischen Welligkeit an. Aus dem Abstand benachbarter Intensitätsmaxima kann nach einer umgekehrten Proportionalität auf die Periodenlänge der Welligkeit und aus der Intensität benachbarter Intensitätsmaxima sowie aus der Periodenlänge auf die Tiefe der Wellentäler zwischen den Wellenkämmen geschlossen werden. The invention relates to a method and a device for recognizing small, periodic undulations in technical surfaces according to the scattered light method, whereby the surface is illuminated with a beam of light (primary light) and the secondary light that is reflected by said surface is examined. This makes it possible to carry out measurements with a reproducible validity in a quick, freehanded manner even in the raw production stage. According to the invention, a monochromatic coherent primary light is used. Said light toucheshe surface of the workpiece and is directed onto the surface in an approximately perpendicular manner with respect to the expected periodic undulations. A diffraction image of the undulated surface structure is produced in the secondary light beam. The appearance of two maximums of intensity indicates that a periodic undulation is present. It is possible to deduce the periodic length of the undulation from the distance between adjacent maximums of intensity according to inverse proportionality and to deduce the depth of the undulation from the troughs of the undulations between the crests of said undulations. Procédé et dispositif d'identification de petites ondulations périodiques dans des surfaces techniques selon la méthode de la lumière diffusée. Selon ledit procédé, la surface est é