IMAGING USING SPATIAL FREQUENCY FILTERING AND MASKING

A method of, and an apparatus for, creating an image of currents flowing through current paths in a microelectronic circuit such that the image of the currents has improved spatial resolution using filter. The filters (40) increase the spatial resolution and eliminate noise and edge artifacts in magnetic field and electric field images of electronic circuits. In accordance with the method, a magnetic field image is created with a scanning SQUID microscope (32). A magnetic inversion technique is then used to convert the magnetic field image into a current density image. The current density image is filtered based upon known restrictions on the wiring geometry of the microelectronic circuit being imaged. The technique can also be applied to convert electric fields of a circuit from a scanning single electron transistor microscope into images of the voltage levels on the wires in the circuit. Cette invention se rapporte à un procédé et à un appareil servant à créer une image des courants passant par les trajectoires conductrices de courant dans un circuit microélectrique, tel que l'image des courants présente une résolution spatiale améliorée grâce à un filtre. Les filtres (40) augmentent la résolution spatiale et éliminent le bruit et les artefacts marginaux dans les images de champ magnétique et de champ électrique des circuits électroniques. Selon ce procédé, une image de champ magnétique est créée à l'aide d'un microscope SQUID à balayage (32). Une technique d'inversion magnétique est ensuite utilisée pour convertir l'image de champ magnétique en une image de densité de courant. L'image de densité de courant est alors filtrée sur la base des restrictions connues propres à la géométrie de câblage du circuit micro-électronique devant être visualisée. Cette technique peut également être appliquée pour convertir les champs électriques d'un circuit provenant d'un microscope à transistor monoélectron à balayage en images des niveaux de tension des fils du circuit.