PRESSURE SENSOR
Bei einem Druckgeber (10) ist die Membran (20) aus Metall, insbesondere Edelstahl hergestellt. Im Biegebereich (21) der Membran (20) sind die Messwiderstände (30) in Dünnschichttechnik aufgebracht. Ferner befinden sich auf einem Fortsatz (32) der Membran (20) die Auswerteschaltung (35) und weitere e...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Bei einem Druckgeber (10) ist die Membran (20) aus Metall, insbesondere Edelstahl hergestellt. Im Biegebereich (21) der Membran (20) sind die Messwiderstände (30) in Dünnschichttechnik aufgebracht. Ferner befinden sich auf einem Fortsatz (32) der Membran (20) die Auswerteschaltung (35) und weitere elektronische Bauteile, wie z. B. Kondensatoren (40). Dadurch ist eine sehr kompakte Bauweise mit relativ wenig elektrischen Verbindungsstellen möglich.
A pressure sensor (10) with a diaphragm (20) that is made of metal, especially special steel. Measuring shunts (30) are provided in a bending area using thin-layer technology. An evaluation circuit (35) and other electronic components such as capacitors (40) are arranged on an extension (32) of the diaphragm (20). This results in a very compact design with relatively few electric connections.
L'invention concerne un détecteur de pression (10) dont la membrane (20) est réalisée en métal, notamment en acier spécial. Dans la zone de pliage (21) de la membrane (20), les résistances de précision (30) sont appliquées selon la technique des minces couches. De plus, le circuit d'évaluation (35) et d'autres composants électroniques tels que des condensateurs (40) se trouvent sur un prolongement (32) de la membrane (20). On obtient ainsi une construction très compacte ayant relativement peu de plages de connexion électriques. |
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