AUTOMATED SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM

An automated semiconductor processing system has an indexer bay (75) perpendicularly aligned with a process bay (94) within a clean air enclosure (54). An indexer (72) in the indexer bay provides stocking or storage for work in progress semiconductor wafers. Process chambers (68, 70) are located in the process bay. A process robot (66) moves between the indexer bay and process bay to carry semiconductor wafers to and from the process chambers. The process robot has a robot arm (255) vertically moveable along a lift rail (254). Semiconductor wafers are carried offset from the robot arm, to better avoid contamination. The automated system is compact and requires less clean room floor space. L'invention concerne un système de traitement de semi-conducteurs automatique présentant un compartiment de positionnement (75) aligné perpendiculairement sur un compartiment de traitement (94) dans une enceinte à air pur (54). Un dispositif de positionnement (72) dans le compartiment de positionnement assure le stockage pour le travail en cours des tranches de semi-conducteurs. Des chambres de traitement (68, 70) se trouvent dans le compartiment de traitement. Un robot de traitement (66) se déplace entre le compartiment de positionnement et le compartiment de traitement de manière à acheminer les tranches de semi-conducteurs vers et à partir des chambres de traitement. Le robot de traitement présente un bras (255) mobile verticalement le long d'un rail de levage (254). Des tranches de semi-conducteurs sont transportées de manière décalée par rapport au bras pour mieux éviter la contamination. Le système automatique est compact et nécessite moins d'espace dans la chambre de nettoyage.