SHADOW CASTING METHOD FOR PROFILE MEASUREMENT

Apparatus (10) and method for determining critical dimensions of an object, using a light source (20) for propagating a non-coherent beam of light, which is collimated and propagated through a telecentric lens (30) towards a two-dimensional imaging device (32) for imaging the collimated beam of light. A viewing stand (40) situated between the collimator (22) and the telecentric lens (30), holds the object within the collimated beam of light, so that a silhouette of the object is obtained on the imaging device. A data processing means (16) coupled to the two-dimensional imaging device (32) for determining the critical dimensions of the object on the basis of its silhouette. An alignment unit (42, 44, 46, 50) is provided for aligning the object on the viewing stand, so that the silhouette of the object is nominally normal to the axis of the beam of light within a predetermined allowable tilt angle. Dispositif (10) et procédé permettant de déterminer les dimensions critiques d'un objet au moyen d'une source (20) de lumière. La source propage un faisceau lumineux non cohérent, qui est collimaté et propagé à travers une lentille télécentrique (30) vers un dispositif d'imagerie bidimensionnelle (32) produisant une image du faisceau de lumière collimaté. Un support de visualisation (40), situé entre le collimateur (22) et la lentille télécentrique (30), maintient l'objet à l'intérieur du faisceau lumineux collimaté, de façon à donner une silhouette dudit objet sur le dispositif d'imagerie. Une unité de traitement de données (16), couplée au dispositif d'imagerie bidimensionnelle (32), permet de déterminer les dimensions critiques de l'objet sur la base de la silhouette. Une unité d'alignement (42, 44, 46, 50) aligne l'objet sur le support de visualisation, de façon que la silhouette dudit objet soit essentiellement normale par rapport à l'axe du faisceau lumineux à l'intérieur d'un angle d'inclinaison admissible prédéterminé.