Anchor for device package

An anchor to hold getter materials in place within a micromechanical device package substrate. First and second cavity faces define an anchor cavity and mechanically retain a getter away from a region holding the micromechanical device. The getter anchor may be formed in a substrate comprised of at...

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Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HOLTON JOYCE WONG, SMITH JACK C, FISHER EDWARD CARL, LIU JWEI WIEN, ROBBINS ROGER A
Format: Patent
Sprache:eng
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