Diamond growth method
Preferred embodiments grow a first diamondlike film (114) on a silicon substrate (102). Diamond film (116) is then grown on diamondlike film (114), the diamondlike film (114) providing a high density of nucleation sites (108) for the diamond film (116). Diamond film growth is interrupted and a secon...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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