Process for fabricating integrated circuits having shallow junctions

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LIU, RUICHEN, SCHUTZ, RONALD J, WAGNER, RICHARD S, CASE, CHRISTOPHER J, CHEUNG, KIN P
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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