MEASUREMENT OF CARRIER CONCENTRATION OF SEMICONDUCTOR MATERIAL

1306850 Optical testing INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP 3 Dec 1970 [15 Dec 1969] 57393/70 Heading G2J The impurity concentration of semi-conductive material is determined by measuring the angle of incidence of monochromatic infrared light (polarised in the plane of incidence) at which reflectiv...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: EDWARD E. GARDNER, PAUL A. SCHUMANN JR, WILLIAM A. KEENAN
Format: Patent
Sprache:eng
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