MASS SPECTROMETER

A mass spectrometer includes a beam irradiator configured to emit an ion beam with pulses to irradiate a beam irradiation region along a surface of a sample; a laser irradiator configured to emit laser light with pulses to irradiate a laser irradiation region above the sample; a mass spectrometry un...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OTSUKA, Yuki, AKUTSU, Haruko, ASAKAWA, Jun
Format: Patent
Sprache:eng
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