MENISCUS MEASURING APPARATUS AND METHOD, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
A meniscus measuring method capable of quickly and accurately measuring meniscus positions in a plurality of nozzles of an inkjet head can be provided. The meniscus measuring method comprises providing a head unit capable of discharging ink through a plurality of nozzles, adhering ink remaining in t...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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