LIGHT REFLECTING ELEMENT AND SPATIAL LIGHT MODULATOR
A light reflecting element includes a support part 21, a hinge part 30, and a light reflecting part 40, in which the light reflecting part 40 includes a support layer and a light reflecting layer 50, the hinge part 30 includes a torsion bar portion 31, extending portions 34A and 34B extending from s...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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