LAYER-BY-LAYER COATING APPARATUS AND METHOD

Apparatus and method useful for, among other things, providing a layer by layer coating of materials on a substrate.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KOLB, WILLIAM BLAKE, KAWAKAMI, ELLISON G
Format: Patent
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:Apparatus and method useful for, among other things, providing a layer by layer coating of materials on a substrate.