METHOD FOR DETERMINING A DISTANCE BETWEEN A FIRST STRUCTURE ELEMENT ON A SUBSTRATE AND A SECOND STRUCTURE ELEMENT

Furthermore, a microscope for carrying out the method is provided.

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Blumrich Joerg Frederik
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTING COUNTING IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Furthermore, a microscope for carrying out the method is provided.