POROUS SILICON

A method of making porous silicon using a chemical etchant comprising metal ions is described.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CANHAM LEIGH TREVOR, LONI ARMANDO
Format: Patent
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:A method of making porous silicon using a chemical etchant comprising metal ions is described.