PROCESS FOR PREPARING ROTORS OR STATORS OF A TURBOMOLECULAR PUMP

The invention relates to a process for preparing rotors or stators of a turbomolecular pump with rotor blades made of a specific aluminum alloy.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ETSCHENBERG LARS, HOLZER RAINER, ROTH ISHAN, FROITZHEIM MICHAEL
Format: Patent
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:The invention relates to a process for preparing rotors or stators of a turbomolecular pump with rotor blades made of a specific aluminum alloy.