PRESSURE SENSOR

Various embodiments and methods relating to a pressure sensor having a flexure supported piezo resistive sensing element are disclosed

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Hauptverfasser: JILANI ADEL B, WU JENNIFER L, MCKINNELL JAMES C, NIKKEL ERIC L
Format: Patent
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:Various embodiments and methods relating to a pressure sensor having a flexure supported piezo resistive sensing element are disclosed