SINGLE CRYSTAL PULLING APPARATUS

A single crystal pulling apparatus having a heater 4 melting material silicon by thermal radiation from a cylindrical exothermic part 4 a which surrounds a crucible 3 inside a furnace body 2 and an electromagnet 13 which is prepared to surround the furnace body 2 and applies a transverse magnetic fi...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: HISAICHI TOSHIO
Format: Patent
Sprache:eng
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