Mems accelerometers
A micro-electro-mechanical systems (MEMS) accelerometer comprises a wafer micro-fabricated to provide a frame ( 10 ) defining an opening within which is disposed a sensing mass ( 14 ). A pair of aligned pivot beams ( 15 ) connect the mass to the frame ( 10 ) so that the axis of pivoting is displaced...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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