Patterning of sacrificial materials

Methods and compositions for patterning sacrificial materials are provided.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HENDERSON CLIFFORD L, KING WILLIAM P, WHITE CELESTA E, ROWLAND HARRY D
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Methods and compositions for patterning sacrificial materials are provided.