Vibration measurement device

A vibration measurement device 10 includes an excitation unit (signal generator 11 and vibrator 12) for exciting an elastic wave to an inspection target S, an illumination unit (wavelength stabilized laser beam source 13 and illumination light lens 14) for performing stroboscopic illumination to a m...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Nagata, Yuya, Hatahori, Takahide, Takubo, Kenji
Format: Patent
Sprache:eng
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