Showerhead shroud

A processing chamber includes an upper surface and a showerhead arranged to supply gases through the upper surface into the processing chamber. At least a portion of the showerhead extends above the upper surface of the processing chamber. A shroud enclosure is arranged on the upper surface of the p...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Borth, Andrew, Ramsayer, Christopher
Format: Patent
Sprache:eng
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