Cleaning liquid, and method of cleaning substrate provided with metal resist

A metal resist cleaning liquid including a solvent and formic acid.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kumagai, Tomoya, Akiyoshi, Takahiro
Format: Patent
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:A metal resist cleaning liquid including a solvent and formic acid.