Organic layer composition and method of forming patterns

A method of measuring the thermal shrinkage ratio is described in the detailed description.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kim, Minsoo, Song, Hyunji, Hong, Seunghee, Baek, Jaeyeol, Jeong, Seulgi, Hwang, Sunmin, Yoon, Byeri, Nam, Younhee
Format: Patent
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:A method of measuring the thermal shrinkage ratio is described in the detailed description.