PIEZOELECTRIC SCANNER

A piezoelectric scanner comprises a base, piezoactuator made of four bimorph cells fixed on the base in such a way that cross section of figure formed by bimorph cells is a rectangle, an object holder made as bimorph cell and fixed on the piezoactuator by means of resilient plates. Each bimorph cell of the piezoactuator comprises a metallic plate of triangular form, on which bimorph cell is fixed. Пьезосканер содержит основании, пьезоактуатор, который выполнен из четырех биморфных пьезоэлементов, которые одной стороной закреплены на основании таким способом, что поперечное сечение фигуры, образованной биморфными пьезоэлементами представляет собой прямоугольник, держатель объекта, выполненный в виде биморфного пьезоэлемента, причем держатель объекта или зонда закреплен на пьезоактуаторе с помощью упругих пластинок. Каждый биморфный пьезоэлемент пьезоактуатора состоит из металлической пластины треугольной формы, на которой закреплен пьезоэлемент. П'єзосканер містить основу, п'єзоактуатор, який виконано з чотирьох біморфних п'єзоелементів, які одною стороною закріплені на основі таким чином, що поперечний переріз фігури, утвореної біморфними п'єзоелементами являє собою прямокутник, утримувач об'єкта, виконаний у вигляді біморфного п'єзоелемента, причому утримувач об'єкта або зонда закріплений на п'єзоактуаторі за допомогою пружних пластинок. Кожний біморфний п'єзоелемент п'єзоактуатора складається з металевої пластини трикутної форми, на якій закріплений п'єзоелемент.