TEMPERATURE-CONTROLLED CRYOGENIC DEVICE FOR A RASTER ELECTRON MICROSCOPE

A temperature-controlled cryogenic device for a raster electron microscope comprises vertical and horizontal bodies, wherein in the vertical body there are pendent radiating screens that enclosed an azoth tank and a feeder tank for helium with a constant-pressure valve and a switch valve, and a pressure sensor and a cryogenic fluid evaporator. In the horizontal body there is a heat-exchange prechamber as a copper branch pipe, inside which a vertical optical channel is arranged, this is closed with an optical window at the top and from below and provided with two heat-exchange chambers and two pipes for cryoagent supply and discharge as well as with an electric heating unit. The branch pipe is surrounded with a radiating screen. The device is equipped with two adjusting flanges. In the output of the prechamber a horizontal labyrinth channel for cryoagent is provided. The tubes for cryoagent admission to a heat-exchanger and cryoagent discharge from it have flexible sections. Терморегулируемое криостатное устройство к растровому электронному микроскопу содержит вертикальный и горизонтальные корпуса, в вертикальном корпусе которого расположены подвесные радиационные экраны, которые обхватывают резервуар азота и резервуар-питатель для гелия с клапаном постоянного давления и переключающим вентилем, а также датчик давления и испаритель криогенной жидкости. В горизонтальном корпусе расположен теплообменный кожух, представляющий собой медный отвод, внутри которого расположен вертикальный оптический канал, сверху и снизу закрытый оптическим окном, и оснащенный двумя теплообменными камерами и двумя патрубками для подачи и вывода криоагента, а также электронагревателем. Отвод окружен радиационным экраном. Устройство оснащено двумя установочными фланцами. В отводе форкамеры расположен горизонтальный лабиринтный канал для криоагента. Трубки для подвода криоагента к теплообменнику и отвода криоагента из него имеют гибкие участки. Терморегульований кріостатний пристрій до растрового електронного мікроскопа містить вертикальний та горизонтальні корпуси, у вертикальному корпусі якого розташовані підвісні радіаційні екрани, які обхоплюють резервуар для азоту і резервуар-живильник для гелію із клапаном постійного тиску і перемикаючим вентилем, а також датчик тиску і випарник кріогенної рідини. У горизонтальному корпусі розташована теплообмінна форкамера, яка являє собою мідний відвід, усередині котрого розташований вертикальний оптичний канал, який зверху та знизу затулено о