METHOD FOR OBTAINING MACRO-POROUS SURFACE OF INDIUM PHOSPHIDE BY METHOD OF ELECTROLYTIC ETCHING IN SOLUTION OF HYDROFLUORIC ACID

Utility model belongs to the way of porous structure creation on the monocrystals surface of phosphide India, namely this is the way of electrochemical etching, as a result - the porous layer appears, which consists of macropores basically.The reception of the macroporous layer on the monocrystals surface of n-type phosphide doped to the concentration of n=2.3x10c carriers with orientation (111) was spent to some stages:1) degreasing of samples in hot(75-) solution of amiak;2) processing in the hot concentrated nitric acid (extraction of ions of metals);3) washing of samples in toluene, ethyl spirit, distilled water;4) electrochemical etching of samples in HF:CHOH:HO (1:2:1) solution for getting porous layer of phosphide India;5) cleaning examples in distilled water and drying using centrifuges jet of dry air.Porous indium phosphide is a promising material for developing super-fast integrated circuits, as well as a combination of optoelectronic devices in which information is processed not only electronically but also in optical form. Energy options porous InP crystals are very close to the parameters of monocrystalline silicon, so its easy to make based integrated optoelectronic devices compatible with silicon, in particular, resistive optopary. Спосіб отримання макропоруватої поверхні фосфіду індію методом електрохімічного травлення у розчині плавикової кислоти.[Полезная модель принадлежит к способам изготовления пористых структур на поверхности монокристаллического фосфида индия, а именно способам электролитического травления в результате чего на поверхности формируется пористый слой, который состоит, в основном, из макропор. Получение макропористого слоя на поверхности монокристаллического фосфида индия n-типа легированного S до концентрации носителей n=2,3х10смс ориентацией (111) проводилось в несколько этапов:1. Обезжиривание образцов в горячем (75 – 80 °С) аммиачном растворе.2. Обработка в горячей концентрированной азотной кислоте (удаление ионов металлов).3. Промывание образцов в толуоле, этиловом спирте и дистиллированной воде.4. Электрохимическое травление образцов в растворе для получения пористого слоя фосфида индия.5. Очищение образцов в дистиллированной воде и просушивание при помощи центрифуги в струе сухого воздуха.Пористый фосфид индия является перспективным материалом для разработки сверхбыстрых интегральных схем, а также создание комбинированных оптоэлектронных устройств, в которых информация обрабатывается не только в электронном, но и