X-RAY RADIATION SOURCE

An X-ray source comprises a source of charged particle beam, a vacuum body in which a target for generation of X-ray radiation is located, which is capable of rotation and equipped with a cooling system. On the output of the source of charged particle beam electrostatic lenses are installed. X-ray optics is located on the way of X-ray radiation to a test specimen. The target is performed as at least one solid-state convertor. Источник рентгеновского излучения содержит источник пучка заряженных частиц, вакуумный корпус, где находится мишень для генерации рентгеновского излучения, которая установлена с возможностью вращения и оснащена системой охлаждения. На выходе из источника пучка заряженных частиц установлены электростатические линзы. На пути рентгеновского излучения к исследуемому образцу находится рентгенооптическая система. Мишень выполнена в виде по крайней мере одного твердотельного конвертора. Джерело рентгенівського випромінювання містить джерело пучка заряджених частинок, вакуумний корпус, де знаходиться мішень для генерації рентгенівського випромінювання, яку встановлено з можливістю обертання і оснащено системою охолодження. На виході з джерела пучка заряджених частинок встановлено електростатичні лінзи. На шляху рентгенівського випромінювання до досліджуваного зразка знаходиться рентгенооптична система. Мішень виконано у вигляді принаймні одного твердотільного конвертора.