СПОСІБ ТЕРМОВАКУУМНОЇ ОБРОБКИ ЕЛЕКТРОВАКУУМНИХ ПРИЛАДІВ

The proposed method of thermovacuum treatment of electrovacuum devices involves heat treatment of a glass hermetic shell by using electromagnetic radiation, and heating the shell and the device internal components to achieve degassing temperatures with simultaneous degassing of the whole device. Heating of the shell and the device internal components is accomplished by using electromagnetic radiation with spectrum that corresponds to the partial permeability of the shell relative to electromagnetic radiation. Предлагаемый способ термовакуумной обработки электровакуумных приборов заключается в том, что стеклянную герметизирующую оболочку обрабатывают электромагнитным излучением, затем оболочку и внутренние элементы электровакуумного прибора нагревают до достижения требуемых температур дегазации, проводя процесс нагревания одновременно с дегазацией электровакуумного прибора. Нагревание стеклянной оболочки и внутренних элементов электровакуумного прибора осуществляют с помощью электромагнитного излучения, спектр которого соответствует частичной проницаемости оболочки по отношению к указанному электромагнитному излучению. Спосіб термовакуумної обробки електровакуумних приладів полягає в проведенні термообробки скляної герметизуючої оболонки електромагнітним випромінюванням, нагрівання склооболонки і внутрішніх елементів до температур їх дегазації з одночасною дегазацією електровакуумного приладу. Нагрівання склооболонки та елементів, які знаходяться всередині електровакуумного приладу, до температур дегазації здійснюють електромагнітним випромінюванням, спектр якого знаходиться в області часткової прозорості склооболонки.