METHOD for producing OF laminated protective coating ON THE BASIS OF THIN films OF tantalum diboride

A method for producing of laminated protective coating on the basis of thin films of tantalum diboride by application on steel support of wearproof coverage by a magnetron method of target material spraying. A coating film is obtained on one technological unit of equipment in one vacuum run at the use of one magnetron and one spraying target. At that tantalum diboride layers are applicated consistently with the use of potential displacement, which is supplied in the process of application on steel support, and without it. Способ получения многослойного защитного покрытия на основе тонких пленок диборида тантала путем нанесения на стальную подкладку износостойкого покрытия магнетронным методом распыления материала мишени. Пленку покрытия получают на одной технологической единице оборудования в одном вакуумном цикле при использовании одного магнетрона и одной распыляющейся мишени. При этом слои диборида тантала наносятся последовательно с применением потенциала сдвига, который подается в процессе нанесения на стальную подкладку, и без него. Спосіб одержання багатошарового захисного покриття на основі тонких плівок дибориду танталу шляхом нанесення на сталеву підкладку зносостійкого покриття магнетронним методом розпилення матеріалу мішені. Плівку покриття одержують на одній технологічній одиниці устаткування в одному вакуумному циклі при використанні одного магнетрона та однієї мішені, що розпилюється. При цьому шари дибориду танталу наносяться послідовно із застосуванням потенціалу зсуву, що подається в процесі нанесення на сталеву підкладку, та без нього.