METHOD FOR OBTAINING CHAIN PORES ON INDIUM PHOSPHIDE SURFACE BY ELECTROCHEMICAL ETCHING

METHOD FOR OBTAINING CHAIN PORES ON INDIUM PHOSPHIDE SURFACE BY ELECTROCHEMICAL ETCHING

A method for obtaining chain pores on indium phosphide surface (InP) comprises the treatment of monocrystal InP by electrochemical etching. Monocrystal InP (111) is treated by electrochemical etching in the solution of hydrofluoric acid as electrolyte in concentration of HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 for 10 m...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Bondarenko Viktoriia Volodymirivna, Kovachov Serhii Serhiiovych, Sychikova Yana Oleksandrivna, Lazarenko Andrii Stepanovych, Shyshkin Hennadii Oleksandrovych, Bohdanov Ihor Tymofiiovych
Format: Patent
Sprache:eng ; ukr
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator Bondarenko Viktoriia Volodymirivna
Kovachov Serhii Serhiiovych
Sychikova Yana Oleksandrivna
Lazarenko Andrii Stepanovych
Shyshkin Hennadii Oleksandrovych
Bohdanov Ihor Tymofiiovych
description A method for obtaining chain pores on indium phosphide surface (InP) comprises the treatment of monocrystal InP by electrochemical etching. Monocrystal InP (111) is treated by electrochemical etching in the solution of hydrofluoric acid as electrolyte in concentration of HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 for 10 minutes, at current density of j=200 mA/cm2. Спосіб отримання ланцюгових пор на поверхні фосфіду індію (InР) включає обробку поверхні монокристалічного InР шляхом електрохімічного травлення. Електрохімічне травлення проводять обробкою монокристала InР (111) у розчині плавикової кислоти як електроліту у концентрації HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 протягом 10 хвилин, при щільності струму j=200 mA/cm2.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_UA150655UU</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>UA150655UU</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_UA150655UU3</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqFjMsKwjAQRbNxIeo3OD8gKBL3aTIxA20m5IG4KkXiSrRQ_x8ruHd1D5zDXYpLh9mxAcsRuMmKPPkzaDcDBI6YgD2QN1Q6CI5TcGQQUolWaYTmCtiizpG1w460agGzdvPFWizuw2Oqm9-uxNZ-1a6Or75O43Crz_ruizrI_UnKUo7_iw_vLzBi</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>METHOD FOR OBTAINING CHAIN PORES ON INDIUM PHOSPHIDE SURFACE BY ELECTROCHEMICAL ETCHING</title><source>esp@cenet</source><creator>Bondarenko Viktoriia Volodymirivna ; Kovachov Serhii Serhiiovych ; Sychikova Yana Oleksandrivna ; Lazarenko Andrii Stepanovych ; Shyshkin Hennadii Oleksandrovych ; Bohdanov Ihor Tymofiiovych</creator><creatorcontrib>Bondarenko Viktoriia Volodymirivna ; Kovachov Serhii Serhiiovych ; Sychikova Yana Oleksandrivna ; Lazarenko Andrii Stepanovych ; Shyshkin Hennadii Oleksandrovych ; Bohdanov Ihor Tymofiiovych</creatorcontrib><description>A method for obtaining chain pores on indium phosphide surface (InP) comprises the treatment of monocrystal InP by electrochemical etching. Monocrystal InP (111) is treated by electrochemical etching in the solution of hydrofluoric acid as electrolyte in concentration of HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 for 10 minutes, at current density of j=200 mA/cm2. Спосіб отримання ланцюгових пор на поверхні фосфіду індію (InР) включає обробку поверхні монокристалічного InР шляхом електрохімічного травлення. Електрохімічне травлення проводять обробкою монокристала InР (111) у розчині плавикової кислоти як електроліту у концентрації HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 протягом 10 хвилин, при щільності струму j=200 mA/cm2.</description><language>eng ; ukr</language><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20220309&amp;DB=EPODOC&amp;CC=UA&amp;NR=150655U$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25542,76289</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20220309&amp;DB=EPODOC&amp;CC=UA&amp;NR=150655U$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Bondarenko Viktoriia Volodymirivna</creatorcontrib><creatorcontrib>Kovachov Serhii Serhiiovych</creatorcontrib><creatorcontrib>Sychikova Yana Oleksandrivna</creatorcontrib><creatorcontrib>Lazarenko Andrii Stepanovych</creatorcontrib><creatorcontrib>Shyshkin Hennadii Oleksandrovych</creatorcontrib><creatorcontrib>Bohdanov Ihor Tymofiiovych</creatorcontrib><title>METHOD FOR OBTAINING CHAIN PORES ON INDIUM PHOSPHIDE SURFACE BY ELECTROCHEMICAL ETCHING</title><description>A method for obtaining chain pores on indium phosphide surface (InP) comprises the treatment of monocrystal InP by electrochemical etching. Monocrystal InP (111) is treated by electrochemical etching in the solution of hydrofluoric acid as electrolyte in concentration of HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 for 10 minutes, at current density of j=200 mA/cm2. Спосіб отримання ланцюгових пор на поверхні фосфіду індію (InР) включає обробку поверхні монокристалічного InР шляхом електрохімічного травлення. Електрохімічне травлення проводять обробкою монокристала InР (111) у розчині плавикової кислоти як електроліту у концентрації HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 протягом 10 хвилин, при щільності струму j=200 mA/cm2.</description><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqFjMsKwjAQRbNxIeo3OD8gKBL3aTIxA20m5IG4KkXiSrRQ_x8ruHd1D5zDXYpLh9mxAcsRuMmKPPkzaDcDBI6YgD2QN1Q6CI5TcGQQUolWaYTmCtiizpG1w460agGzdvPFWizuw2Oqm9-uxNZ-1a6Or75O43Crz_ruizrI_UnKUo7_iw_vLzBi</recordid><startdate>20220309</startdate><enddate>20220309</enddate><creator>Bondarenko Viktoriia Volodymirivna</creator><creator>Kovachov Serhii Serhiiovych</creator><creator>Sychikova Yana Oleksandrivna</creator><creator>Lazarenko Andrii Stepanovych</creator><creator>Shyshkin Hennadii Oleksandrovych</creator><creator>Bohdanov Ihor Tymofiiovych</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20220309</creationdate><title>METHOD FOR OBTAINING CHAIN PORES ON INDIUM PHOSPHIDE SURFACE BY ELECTROCHEMICAL ETCHING</title><author>Bondarenko Viktoriia Volodymirivna ; Kovachov Serhii Serhiiovych ; Sychikova Yana Oleksandrivna ; Lazarenko Andrii Stepanovych ; Shyshkin Hennadii Oleksandrovych ; Bohdanov Ihor Tymofiiovych</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_UA150655UU3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; ukr</language><creationdate>2022</creationdate><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Bondarenko Viktoriia Volodymirivna</creatorcontrib><creatorcontrib>Kovachov Serhii Serhiiovych</creatorcontrib><creatorcontrib>Sychikova Yana Oleksandrivna</creatorcontrib><creatorcontrib>Lazarenko Andrii Stepanovych</creatorcontrib><creatorcontrib>Shyshkin Hennadii Oleksandrovych</creatorcontrib><creatorcontrib>Bohdanov Ihor Tymofiiovych</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Bondarenko Viktoriia Volodymirivna</au><au>Kovachov Serhii Serhiiovych</au><au>Sychikova Yana Oleksandrivna</au><au>Lazarenko Andrii Stepanovych</au><au>Shyshkin Hennadii Oleksandrovych</au><au>Bohdanov Ihor Tymofiiovych</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>METHOD FOR OBTAINING CHAIN PORES ON INDIUM PHOSPHIDE SURFACE BY ELECTROCHEMICAL ETCHING</title><date>2022-03-09</date><risdate>2022</risdate><abstract>A method for obtaining chain pores on indium phosphide surface (InP) comprises the treatment of monocrystal InP by electrochemical etching. Monocrystal InP (111) is treated by electrochemical etching in the solution of hydrofluoric acid as electrolyte in concentration of HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 for 10 minutes, at current density of j=200 mA/cm2. Спосіб отримання ланцюгових пор на поверхні фосфіду індію (InР) включає обробку поверхні монокристалічного InР шляхом електрохімічного травлення. Електрохімічне травлення проводять обробкою монокристала InР (111) у розчині плавикової кислоти як електроліту у концентрації HF:H2O:C2H5OH=2:2:1 протягом 10 хвилин, при щільності струму j=200 mA/cm2.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language eng ; ukr
recordid cdi_epo_espacenet_UA150655UU
source esp@cenet
title METHOD FOR OBTAINING CHAIN PORES ON INDIUM PHOSPHIDE SURFACE BY ELECTROCHEMICAL ETCHING
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-02-10T15%3A40%3A36IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=Bondarenko%20Viktoriia%20Volodymirivna&rft.date=2022-03-09&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EUA150655UU%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true