METHOD FOR GENERATING A HIGH-SPEED FLOW OF NEUTRAL HELIUM ATOMS

The invention relates to a technique for obtaining beams of fast neutral particles and can be used both in scientific research and for solving practical problems, the solution of which involves the creation of beams of neutral helium atoms with a given power, in particular, for etching surfaces, creating a relief on solid surfaces, etc. The method for generating a high-speed flow of neutral helium atoms includes creating a beam of helium cations and directing it at an acute angle to the surface of a metal plate. On the trajectory of movement of helium atoms after their interaction with the surface of the plate, a capacitor is placed in the form of flat plates with a given potential difference. A beam of helium atoms is directed between the capacitor plates parallel to them. In an embodiment of the invention, a helium cation beam is directed onto a flat surface of a gold plate at an angle of 0.5 to 3.5°. The technical result of the invention is to increase the yield of neutral helium particles. Винахід належить до техніки отримання пучків швидких нейтральних частинок і може бути застосований як в наукових дослідженнях, так і для вирішення практичних задач, розв'язання яких передбачає створення пучків нейтральних атомів гелію із заданою потужністю, зокрема, для травлення поверхонь, створення рельєфу на поверхнях твердих тіл тощо. Спосіб формування швидкісного потоку нейтральних атомів гелію включає створення пучка катіонів гелію та спрямування його під гострим кутом на поверхню металевої пластини. На траєкторії руху атомів гелію після їх взаємодії з поверхнею пластини розташовують конденсатор у вигляді плоских пластин із заданою різницею потенціалу. Пучок атомів гелію направляють між пластинами конденсатора паралельно їм. У варіанті винаходу пучок катіонів гелію направляють на плоску поверхню золотої пластини під кутом від 0,5° до 3,5. Технічним результатом винаходу є збільшення виходу нейтральних частинок гелію.