TWI835560B

The present invention provides a thermal field assembly, a single crystal furnace, a liquid leakage detection device and a method thereof. The thermal field assembly comprises: a bottom heater which comprises a top surface and a bottom surface opposite to each other, the bottom heater being provided...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JI, TIANPING, ZHANG, PENGJU
Format: Patent
Sprache:chi
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