Clean air blower unit
PURPOSE: A cleaned air blower unit capable of cleaning of a substrate accommodation unit is provided to flow cleaned air from a blower side to a discharge side and to favorably clean a substrate accommodation unit. CONSTITUTION: A cleaned air blower unit(J) is detachably installed while being arrang...
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!