Clean air blower unit

PURPOSE: A cleaned air blower unit capable of cleaning of a substrate accommodation unit is provided to flow cleaned air from a blower side to a discharge side and to favorably clean a substrate accommodation unit. CONSTITUTION: A cleaned air blower unit(J) is detachably installed while being arrang...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: NAKAO, TATSUO
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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