Method for manufacturing multi-gate transistor device

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HSIEH, YUNG LUN, CHEN, CHIEN HAO, HSU, CHIA LIN, WU, HSIN HUEI, LIAO, CHIN I, HSU, MIN YING, LI, MING YEN, LEE, BO SYUAN
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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