Substrate-supporting mechanism

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KAWAGUCHI, TAKAFUMI, NAKANO, HARUHISA, EGAMI, YOUICHI, MUSHA, KAZUHIRO, MINAMI, HIROFUMI, MURAKAMI, HIROHIKO
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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