TWI373537B

PURPOSE: To provide a plating apparatus and a plating method capable of substantially restraining infiltration of impurities from anode chamber to cathode chamber, maintaining stable supply of anode metals and extending a period requiring management operation, thereby substantially improving product...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OBATA, SOUICHI, KAMEYAMA, YUUICHI
Format: Patent
Sprache:chi
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