Buffer apparatus and thin film deposition system

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LIU YU-HENG, LIM CHENGUNG, TANG, JUI LING, SUN ZHAO-JIN, PANG CHIN-KHYE
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!