基板處理裝置用基板移動具

【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用基板移動具，為一種在基板處理裝置的反應室中，安裝在設置有複數片基板的基板保持具的內側使用的基板處理裝置用基板移動具。本設計之物品的底面之呈環狀突出的部分，用於嵌入基板保持具的底板的孔以進行定位，並藉由向上推動基板移動具的底板，就可將複數片基板從基板保持具的爪片往上抬起進行上下移動。;【設計說明】;(無)...

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Hauptverfasser:	JINDEN, TATSUKI, MORITA, SHINYA
Format:	Patent
Sprache:	chi
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Beschreibung
Zusammenfassung:	【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用基板移動具，為一種在基板處理裝置的反應室中，安裝在設置有複數片基板的基板保持具的內側使用的基板處理裝置用基板移動具。本設計之物品的底面之呈環狀突出的部分，用於嵌入基板保持具的底板的孔以進行定位，並藉由向上推動基板移動具的底板，就可將複數片基板從基板保持具的爪片往上抬起進行上下移動。;【設計說明】;(無)