半導體基板保持具之部分

【物品用途】;本設計的物品是半導體基板保持具，係應用於可供保持半導體晶圓等之基板的半導體基板保持具。使用時，係將前述基板接觸保持在本物品的「爪部」。將各部名稱標示於「標示各部名稱之參考圖」中。本物品係能與另一個「基座部」接合來使用。此時，係在本物品的「貫通縱向孔」內嵌合著設置在前述「基座部」的「凸狀插入部」，且在本物品的「貫通橫向孔」插入「接合銷」來固定。將該狀態呈現於「表示使用狀態之參考圖」及「表示本物品和基座部的接合狀態之參考圖」。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分；圖式中一點鏈線所圍繞者，係界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。