DEPOSITION RING OF A PROCESS KIT FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING

【物品用途】;本設計所請求之處理套件的沉積環係用於半導體處理。;【設計說明】;無。

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHAKRAVARTHY, ARUN CHAKRAVARTHY, BHASKAR RAO, NATARAJ, TAKMEEL, QANIT, SATHYANARAYANA, HARISHA, CHOWDHURY, ABHISHEK, PUENTE SOTOMAYOR, DIEGO RAMIRO, SUAREZ, EDWIN C, CHOWDHURY, MOHAMMAD KAMRUZZAMAN
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:	【物品用途】;本設計所請求之處理套件的沉積環係用於半導體處理。;【設計說明】;無。