GAS DISTRIBUTION PLATE FOR SEMICONDUCTOR PROCESS

【物品用途】;本設計所請為具有視覺效果之氣體分佈板。;【設計說明】;無。

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GOLCHA, JANISHT, SHAH, KARTIK, WANG, CHAOWEI, IYENGAR, PRAHALLAD, BALUJA, SANJEEV
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:	【物品用途】;本設計所請為具有視覺效果之氣體分佈板。;【設計說明】;無。